特殊な信号を扱う変換器や、専用実験装置も開発、
設計から製造まで一貫して行っております。
特殊な信号を扱う変換器や、専用実験装置も開発、
設計から製造まで一貫して行っております。
製作例（1）
製作例（1）
ビームプロファイルモニタ用増幅器
ビームプロファイルモニタ用増幅器
加速器の中の電子ビームがどのような形でどのような広がりを持っているかを測定する為に、ビームプロファイルモニタから出力される微少電流（nAオーダー）を処理しやすいレベルまで増幅し、電圧に変換する増幅器で、主に加速器ラインで使用されています。
高感度
同時に３種類の微少電流を測定し増幅できるため
各電流の相関関係を比較することができるリモート制御機能により信号検出装置近くに
置くことで遠方から測定モニタが可能応答が速く低ノイズ
製作例（2）
製作例（2）
大気圧プラズマ評価装置
大気圧プラズマ評価装置
名古屋大学との共同研究において、プラズマの内部パラメータを計測し、そのパラメータに基づいて制御を行う製品の研究開発・設計・製造を行っています。 主に半導体製造における研究所などに多く利用されています。
大気圧プラズマから発生する波長305nm～310nmにあるOHの発光よりOH回転温度を自動で計測します。
窒素分子からの発光376nm～３８１nmを分光器にて取得し、理論値と実測値を独自のフィッティング処理にて高速な温度計測を実現しています。
これは、大気圧プラズマの窒素分子の回転温度をモニタリングする装置です。
大気の影響で変化する大気圧プラズマを
定量的に評価します。
※プラズマ装置等の開発においては名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター（PLANT）及び(財)名古屋産業振興公社プラズマ技術産業応用センター（PLACIA）の指導の下に製品化を実現しました。
製品に関するお問い合わせ
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